晶圆代工厂新加坡特许半导体(CharteredSemiconductor)宣布,继2002年首次与IBM签订半导体先进制程合作协议后,再次延伸与IBM合作开发次世代32纳米制程技术,这是双方自90纳米制程合作后,合作的第四代制程。特许表示,未来32纳米制程将在IBM位于纽约州EastFishkill的12吋厂进行先期开发,之后特许亦有权将制程导入自有厂区生产。
目前全球半导体制程研发已形成多股势力,包括英特尔(Intel)自行研发和以IBM为首的美商超微(AMD)、三星电子(SamsungElectronics)、特许结盟势力,以及晶圆代工台积电自行研发但制程技术获业界普遍所采用的「TSMC-Like」路线为主等多方阵营。随着这几方势力皆计划将技术已趋成熟的45纳米制程在2007年下半排入生产,次世代32纳米制程技术开发也已提前成为下一波角逐战场。
特许宣布延伸与IBM合作协议至32纳米制程,无疑是再度强化此联盟的合作势力,也使过去双方历经3个世代(90、65、45纳米制程)的技术合作获得延续,不过特许、IBM皆未对外宣布关于此次合作的投资金额。IB
M研发副总裁LisaSu则表示,IBM与特许的结合,将发挥双方研发、生产的综效,在业界取得技术领先优势。
特许研发资深副总夏良聚则认为,半导体业界多已体认未来合作开发是解决成本效益的最佳途径,特许将合作技术平台延伸至32纳米制程,对于客户来说,是持续提供最先进而弹性的制造方案。特许日前才宣布,2007年底前将其12吋产能提升至单月3.9万片,未来也将启动第三期计划,完工后总产能将提高为4.5万片,皆是为先进制程预作规划。
据了解,IBM计划将浸润式显影技术一路向下延伸至32、22纳米制程,而此微影技术方式则与英特尔及荷兰设备商ASML所力拱的深紫外光(EUV)技术路数有所歧异。IBM在65纳米制程采用193纳米干式显影,45纳米制程则转进浸润式显影,而32纳米制程以下倾向采取浸润式双重曝光技术;至于英特尔仍在45纳米制程采用既有的干式显影、32纳米制程以下进入浸润式显影,22纳米制程则才跨入EUV技术。
此外,值得注意的是,特许不仅巩固与IBM技术邦谊,与另一合作伙伴三星的关系也愈拉愈近。特许执行长谢松辉将与三星半导体事业技术发展执行副总KwangpyukSuh共同携手参加3月半导体市调机构Semico论坛高峰会,大谈双方跨平台合作经验。